Posizionamento del sistema di lenti nelle macchine litografiche

I sensori di spostamento induttivi senza contatto (correnti parassite) misurano la posizione degli elementi della lente per produrre la massima precisione possibile dell'immagine. A seconda della strututra del sistema, i sensori di spostamento sono utilizzati per rilevare fino a 6 gradi di libertà. Grazie all'alta risposta in frequenza dei sensori eddyNCDT, è possibile monitorare anche i movimenti altamente dinamici dei sistemi di lente.