Interferometri a luce bianca per la misurazione assoluta della distanza con precisione nanometrica
Il nuovo interferometro a luce bianca IMS5400-DS apre nuove prospettive nella misurazione della distanza in ambito industriale. Il controller dispone di un'analisi intelligente e consente misurazioni assolute con precisione nanometrica con un offset proporzionalmente grande. Rispetto ad altri sistemi di misurazione ottica assoluta, IMS5400-DS offre una combinazione insuperabile di precisione, campo di misura e offset.
Caratteristiche
- Misurazione della distanza assoluta con precisione nanometrica, adatta ad esempio per la misurazione di profili a gradini
- Misura della distanza multi-picco di oggetti trasparenti
- Sensori compatti e robusti con grande offset
- Velocità di misura fino a 6 kHz per misurazioni rapide
- Controller robusto con raffreddamento passivo
- Facile configurazione tramite interfaccia web
- Sensori compatti anche con percorso del fascio a 90°
Misurazione assoluta della distanza con risoluzione nanometrica
IMS5400-DS è utilizzato per la misurazione ad alta precisione di spostamento e distanza. A differenza degli interferometri convenzionali, IMS5400-DS consente anche la misurazione stabile di profili di gradini. Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei gradini viene eseguita con elevata stabilità e precisione del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni.
Misurazione della distanza Multipeak
Nella misurazione della distanza Multipeak su oggetti trasparenti vengono analizzati fino a 14 valori di distanza. In questo modo è possibile rilevare, ad esempio, la distanza tra il vetro e una piastra di supporto. Inoltre, il controller può calcolare lo spessore del vetro a partire dai valori di distanza.
Ideale per gli ambienti industriali
Sensori robusti e un controller dal corpo metallico danno vita a un sistema predestinato all’integrazione nelle linee di produzione. Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN e, grazie alla compensazione attiva della temperatura e al raffreddamento passivo, fornisce risultati di misurazione molto stabili. I sensori sono compatti e possono essere integrati anche in spazi ristretti. I cavi di collegamento in fibra ottica, molto flessibili, sono disponibili con lunghezze fino a 10 m e consentono una separazione fisica di sensore e controller. L' avvio e l’impostazione si effettuano comodamente tramite interfaccia web e non richiedono l’installazione di software.
Spot miniaturizzato per catturare i più piccoli dettagli e strutture
I sensori generano uno spot di piccole dimensioni sull’intero campo di misura. Il diametro dello spot è di soli 10 µm e consente di rilevare i più piccoli dettagli come le strutture sui semiconduttori e i componenti elettronici miniaturizzati.
Misurazione su numerose superfici
Il principio di misura interferometrico consente la misurazione su molti tipi di superfici. Permette quindi di effettuare misurazioni ultra precise della distanza su metalli riflettenti, materie plastiche e vetro.
NOVITÀ: Sensori anche con percorso del fascio a 90°
Grazie al design compatto, i sensori laser possono essere integrati anche in spazi ristretti. Nei modelli con percorso del fascio a 90°, la profondità d’installazione richiesta si riduce ulteriormente in modo significativo.
Numerosi modelli per misurazioni impegnative
| Modello | Campo di misura / inizio intervallo di misurazione | Linearità | Numero di strati misurabili | Campi di applicazione |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ± 50 nm | - |
Misurazione della distanza ad alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio su wafer rivestiti. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±50 nm | - | Misurazioni della distanza industriali, ad esempio nella produzione di precisione |
| IMS5400-DS19/VAC | Compiti di posizionamento preciso e misurazioni della distanza in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di display per il posizionamento di maschere | |||
| IMS5400MP-DS19 | Misurazione della distanza: 2,1 mm / ca. 19 mm Misurazione dello spessore: 0,01 … 1,3 mm (con BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±50 nm per la prima distanza ±150 nm per ogni ulteriore distanza |
Fino a 13 strati | Misurazione della distanza e dello spessore industriale, ad es. nella produzione di vetro piano |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Misurazione precisa della distanza e dello spessore in ambienti di camera sterile e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di display per la misurazione della distanza e del gap |
Unità di interfaccia e di calcolo
Moderne interfacce per l’integrazione in macchine e impianti
Il controller dispone di interfacce integrate come Ethernet, EtherCAT e RS422 e di attacchi per encoder, uscite analogiche, ingressi di sincronizzazione e I/O digitali supplementari. Utilizzando i moduli di interfaccia Micro-Epsilon sono disponibili PROFINET ed EthernetIP.Pertanto l’interferometro può essere integrato in tutti i sistemi di controllo e programmi di produzione.
