Interferometri a luce bianca per la misurazione assoluta della distanza con precisione sub-nanometrica
Il nuovo interferometro a luce bianca IMS5600-DS è utilizzato per la misurazione della distanza con un'altissima precisione. Il controller dispone di una sintonizzazione speciale con analisi intelligente e consente misurazioni assolute con risoluzione sub-nanometrica. L’interferometro è utilizzato per le misurazioni che richiedono la massima precisione, ad esempio nell'elettronica e nella produzione dei semiconduttori.
Caratteristiche particolari
- Misurazione della distanza assoluta con precisione sub-nanometrica, adatta ad esempio alla misurazione di profili a gradini
- Misurazione della distanza multi-picco di oggetti trasparenti
- Il migliore della categoria: Risoluzione < 30 picometri
- Sensori compatti e robusti con un grande offset
- Velocità di misura fino a 6 kHz per misurazioni rapide
- Facile configurazione tramite interfaccia web
- Sensori e cavi compatibili con il vuoto
- Sensori compatti anche con percorso del fascio a 90°
Misurazione assoluta della distanza con grande campo di misura e offset
L' IMS5600-DS è utilizzato per la misurazione ad alta precisione di spostamento e distanza. Il sistema fornisce valori di misura assoluti e pertanto può essere utilizzato anche per la misurazione della distanza dei profili di gradini. Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei gradini viene eseguita con un’elevata stabilità del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni. Il sistema di misurazione offre una risoluzione sub-nanometrica con un grande offset in rapporto al campo di misura.
Misurazione della distanza Multipeak
Nella misurazione della distanza Multipeak su oggetti trasparenti vengono analizzati fino a 14 valori di distanza. In questo modo è possibile rilevare, ad esempio, la distanza tra il vetro e una piastra di supporto. Inoltre, il controller può calcolare lo spessore del vetro a partire dai valori di distanza.
Progettati per misurazioni ad alta risoluzione della distanza nel vuoto
Gli interferometri della serie IMS5600-DS sono utilizzabili per le misurazioni nel vuoto e nelle camere bianche. Qui gli interferometri raggiungono una risoluzione sub-nanometrica. Per le misurazioni nel vuoto, Micro-Epsilon offre sensori, cavi e passanti adatti. Questi sensori e cavi sono praticamente esenti da particolato e possono essere utilizzati dalla camera bianca fino all’UHV.
Misurazioni rapide della distanza con la massima precisione
Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN e, grazie alla compensazione attiva della temperatura e al raffreddamento passivo, fornisce risultati di misurazione molto stabili. I sensori compatti occupano pochissimo spazio e dispongono di cavi in fibra ottica ultra flessibili. I cavi di lunghezza fino a 10 m consentono una separazione fisica di sensore e controller. Il sensore, grazie al laser pilota integrato, si allinea in modo semplice e rapido. La messa in servizio e l’impostazione si effettuano comodamente tramite interfaccia web e non richiedono l’installazione di software.
Misurazione su numerose superfici
Il principio di misura interferometrico consente la misurazione su molti tipi di superfici. Permette quindi di effettuare misurazioni ultra precise della distanza su metalli riflettenti, materie plastiche e vetro.
NOVITÀ: Sensori anche con percorso del fascio a 90°
Grazie al design compatto, i sensori laser possono essere integrati anche in spazi ristretti. Nei modelli con percorso del fascio a 90°, la profondità d’installazione richiesta si riduce ulteriormente in modo significativo.
Numerosi modelli per misurazioni impegnative
| Modello | Campo di misura / inizio intervallo di misurazione | Linearità | Numero di strati misurabili | Campi di applicazione |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ±10 nm | - |
Misurazione della distanza ad alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio su wafer rivestiti. |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±10 nm | - | Misurazioni della distanza ad alta precisione nei processi industriali, ad esempio nella produzione di precisione |
| IMS5600-DS19/VAC | Compiti di posizionamento preciso e misurazioni della distanza in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di display per il posizionamento di maschere | |||
| IMS5600MP-DS19 | Misurazione della distanza: 2,1 mm / ca. 19 mm Misurazione dello spessore: 0,01 … 1,3 mm (con BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±10 nm per la prima distanza ±100 nm per ogni ulteriore distanza |
Fino a 13 strati | Misurazioni della distanza e dello spessore ad alta precisione in processi industriali, ad es. nella produzione di semiconduttori per la determinazione dello spessore degli strati di wafer o nella produzione di LED |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Misurazioni della distanza e dello spessore ad alta precisione in ambienti di camera sterile e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di semiconduttori per la misurazione della posizione e delle dimensioni dei gap su maschere e wafer |
Interface and signal processing units
Moderne interfacce per l’integrazione in macchine e impianti
Il controller dispone di interfacce integrate come Ethernet, EtherCAT e RS422 e di attacchi per encoder, uscite analogiche, ingressi di sincronizzazione e I/O digitali supplementari. Utilizzando i moduli di interfaccia Micro-Epsilon sono disponibili PROFINET ed EthernetIP.Pertanto l’interferometro può essere integrato in tutti i sistemi di controllo e programmi di produzione.
