Interferometri a luce bianca per la misurazione assoluta della distanza con precisione sub-nanometrica
Il nuovo interferometro a luce bianca IMS5600-DS è utilizzato per la misurazione della distanza con un'altissima precisione. Il controller dispone di una sintonizzazione speciale con analisi intelligente e consente misurazioni assolute con risoluzione sub-nanometrica. L’interferometro è utilizzato per le misurazioni che richiedono la massima precisione, ad esempio nell'elettronica e nella produzione dei semiconduttori.
Caratteristiche
- Misurazione della distanza con precisione sub-nanometrica. Best-in-Class: Risoluzione 30 picometri
- Misurazione assoluta, adatta ad esempio per la misurazione dei profili di gradini
- Sensori compatti e robusti con un grande offset
- Velocità di misura fino a 6 kHz per misurazioni rapide
- Ethernet, EtherCAT, RS422
- Facile configurazione tramite interfaccia web
- Sensori e cavi adatti al vuoto
Misurazione assoluta della distanza con grande campo di misura e offset
L' IMS5600-DS è utilizzato per la misurazione ad alta precisione di spostamento e distanza. Il sistema fornisce valori di misura assoluti e pertanto può essere utilizzato anche per la misurazione della distanza dei profili di gradini. Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei gradini viene eseguita con un’elevata stabilità del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni. Il sistema di misurazione offre una risoluzione sub-nanometrica con un grande offset in rapporto al campo di misura.
Misurazione della distanza Multipeak
Nella misurazione della distanza Multipeak su oggetti trasparenti vengono analizzati fino a 14 valori di distanza. In questo modo è possibile rilevare, ad esempio, la distanza tra il vetro e una piastra di supporto. Inoltre, il controller può calcolare lo spessore del vetro a partire dai valori di distanza.
Progettati per misurazioni ad alta risoluzione della distanza nel vuoto
Gli interferometri della serie IMS5600-DS sono utilizzabili per le misurazioni nel vuoto e nelle camere bianche. Qui gli interferometri raggiungono una risoluzione sub-nanometrica. Per le misurazioni nel vuoto, Micro-Epsilon offre sensori, cavi e passanti adatti. Questi sensori e cavi sono praticamente esenti da particolato e possono essere utilizzati dalla camera bianca fino all’UHV.
Misurazioni rapide della distanza con la massima precisione
Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN e, grazie alla compensazione attiva della temperatura e al raffreddamento passivo, fornisce risultati di misurazione molto stabili. I sensori compatti occupano pochissimo spazio e dispongono di cavi in fibra ottica ultra flessibili. I cavi di lunghezza fino a 10 m consentono una separazione fisica di sensore e controller. Il sensore, grazie al laser pilota integrato, si allinea in modo semplice e rapido. La messa in servizio e l’impostazione si effettuano comodamente tramite interfaccia web e non richiedono l’installazione di software.
Misurazione su numerose superfici
Il principio di misura interferometrico consente la misurazione su molti tipi di superfici. Permette quindi di effettuare misurazioni ultra precise della distanza su metalli riflettenti, materie plastiche e vetro.
Numerosi modelli per misurazioni impegnative
| Modello | Campo di misura / Inizio intervallo di misurazione |
Linearità |
Numero di strati misurabili |
Campi di impiego |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±10 nm | - | Misurazioni della distanza industriali, ad esempio nella produzione di precisione |
| IMS5600-DS19/VAC |
Posizionamenti e misurazioni della distanza precisi in camere sterili e nel vuoto, ad esempio nella produzione dei display per il posizionamento delle maschere |
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| IMS5600MP-DS19 | Misurazione della distanza: 2,1 mm / ca. 19 mm Misurazione dello spessore: 0,01 … 1,3 mm (per BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±10 nm per la prima distanza ±100 nm per ogni distanza successiva |
Fino a 13 strati |
Misurazione industriale della distanza e dello spessore ad alta precisione, ad esempio nella produzione di semiconduttori per determinare gli spessori degli strati sui wafer o nella produzione dei LED |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Misurazione precisa della distanza e dello spessore nelle camere sterili e nel vuoto, ad esempio nella produzione di semiconduttori per la misurazione della posizione e dei gap su maschere e wafer |
Interface and signal processing units
Moderne interfacce per l’integrazione in macchine e impianti
Il controller dispone di interfacce integrate come Ethernet, EtherCAT e RS422 e di attacchi per encoder, uscite analogiche, ingressi di sincronizzazione e I/O digitali supplementari. Utilizzando i moduli di interfaccia Micro-Epsilon sono disponibili PROFINET ed EthernetIP.Pertanto l’interferometro può essere integrato in tutti i sistemi di controllo e programmi di produzione.
