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capaNCDT 6500

Sistema multicanale nanometrico

Sistema multicanale capacitivo per altissima risoluzione

I sensori di spostamento capacitivi sono progettati per le misurazioni con altissime risoluzioni. Il sistema multicanale capacitivo capaNCDT 6500 è indicato per misurazioni stabili con risoluzione sub-nanometrica. Il controller offre un tempo di risposta massimo di 7,8kHz (digitale, con un massimo di quattro canali) o una risposta in frequenza fino di 8,5 kHz. Oltre all’uscita analogica è disponibile un’interfaccia EtherCAT. L'EtherCAT consente una trasmissione dei dati in tempo reale senza errori, una rapida integrazione nell'ambiente di misura esistente e la sincronizzazione di due sistemi. La configurazione del capaNCDT 6500 si realizza facilmente tramite web browser.

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Caratteristiche

  1. Campi di misura (mm): 0,05 | 0,2 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  2. Risoluzione max. 0,0375 nm
  3. Linearità max. 0,01 µm
  4. Risposta in frequenza fino 8,5kHz (-3dB)
  5. Data rate (uscita digitale) 7,8kHz
  6. Uscita analogica (tensione / corrente)
  7. Ethernet, EtherCAT
  8. Modulare - Fino a otto canali di misurazione
  9. Preamplificatore esterno o interno
  10. Facile configurazione tramite interfaccia web
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MICRO-EPSILON Ufficio Italia
(+39) 0376 387100
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+39 035 46 26 78
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Altissima risoluzione

Il sistema capaNCDT 6500 è progettato per le misurazioni che richiedono una risoluzione sub-nanometrica. Il capaNCDT 6500 mostra i suoi punti di forza in particolare per le operazioni di posizionamento nell’industria dei semiconduttori o per le applicazioni di laboratorio. Il sistema è progettato per le applicazioni multicanale e ha una struttura modulare. All'elettronica di trattamento del segnale vengono collegati fino a 8 sensori tramite un modulo preamplificatore.

Laptop with web interface

Facile da usare tramite interfaccia web

L’intera configurazione del controller e dei sensori si effettua senza software supplementare, tramite una semplice interfaccia web. L’interfaccia web con cui si eseguono tutte le impostazioni si richiama tramite una connessione Ethernet. In tal modo possono essere applicati facilmente filtri, collegamenti aritmetici e altri parametri come funzioni di trigger, salvataggio dei valori misurati e linearizzazione.

Controller capaNCDT 6530 - Capacitive controller with sub-nanometer resolution

Il controller capacitivo DT6530 offre la massima risoluzione e stabilità del segnale nella misurazione capacitiva dello spostamento. Il controller può essere gestito con un massimo di 8 canali e, oltre alla misurazione su oggetti conduttivi, è indicato anche per la misurazione su isolatori. Oltre alle uscite analogiche è disponibile un’interfaccia digitale Ethernet. Il controller DT6530 è compatibile con tutti i sensori e i cavi della serie capaNCDT.

Caratteristiche

  1. Risoluzione dinamica 0,002 % FS (8,5 kHz)

  2. Risposta in frequenza fino a 8,5 kHz (-3 dB) (commutabile 20 Hz; 1 kHz; 8,5 kHz)

  3. Uscita analogica 0...10 V (a prova di cortocircuito), 4...20 mA; 0...20mA

  4. Interfaccia digitale Ethernet 24 Bit; EtherCAT

  5. Adattamento speciale: lunghezza del cavo fino a 4 volte superiore allo standard

Mounting frame for double-sided thickness measurement

La staffa di montaggio è stata progettata per la misurazione dello spessore su due lati con sensori capacitivi e supporta l’allineamento tra loro dei punti di misura. La staffa permette di posizionare i sensori esattamente su un asse, consentendo di avere punti di misura congruenti. Ciò evita misure sfalsate e permette di ottenere un risultato affidabile con la massima precisione possibile. Le staffe di montaggio possono alloggiare un massimo di 6 sensori. Due sensori costituiscono un punto di misura.

Caratteristiche

  1. Misurazione dello spessore su più tracce fino a 3 punti contemporaneamente

  2. Misurazione precisa a temperature fino a 100 °C grazie all’elevata stabilità in temperatura

  3. Compatibile con il vuoto

  4. Design estremamente compatto

  5. Facilità di integrazione e retrofitting in sistemi esistenti

  6. Compatibile con i modelli di sensori capaNCDT

  7. Il design calibrabile consente una precisione elevata nella misurazione dello spessore

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Operating and installation instructions