Interferometri a luce bianca ad alta precisione per la misurazione senza contatto di distanza e spessore
Gli interferometri a luce bianca della Micro-Epsilon rappresentano un canone di riferimento nella misurazione ad alta precisione di distanza e spessore. I sensori consentono risultati di misurazione stabili con una risoluzione sub-nanometrica e dispongono di un campo di misura e di un offset relativamente grandi. Gli interferometri sono disponibili in 3 serie: IMS5400-DS per la misurazione ad alta precisione della distanza in campo industriale, IMS5400-TH per la misurazione precisa dello spessore e IMS5600-DS con idoneità al vuoto per misurazioni della distanza con risoluzione picometrica.
Characteristics
- Misurazione assoluta della distanza con precisione nanometrica
- Misurazioni dello spessore indipendenti dalla distanza
- Misurazione della distanza multipeak e misurazione dello spessore a più strato
- Precisione ineguagliabile per applicazioni industriali
- Best-in-Class: Risoluzione 30 picometri (IMS5600-DS)
- Stabilità del segnale elevata grazie ai nuovi algoritmi di analisi e alla compensazione attiva della temperatura
- Grande offset
- Facile impostazione tramite interfaccia web
- Sensori ottimizzati per l’industria con robusto corpo metallico e cavi flessibili
- Sensori e cavi adatti al vuoto
Interferometri per l’industria e l'automazione
L’ inteferometro industriale a luce bianca è composto da un robusto sensore, da un cavo ultra flessibile e da un controller con corpo in alluminio fissato a una guida DIN. Il controller dispone di una regolazione attiva della temperatura con cui vengono compensate le variazioni della temperatura ambiente, ottenendo una grandissima stabilità in temperatura. Grazie al design robusto, l’interferometro può essere integrato anche in ambienti industriali. I cavi con lunghezze fino a 10 m consentono inoltre la separazione fisica di controller e sensore. Per le misurazioni in camera bianca e nel vuoto sono disponibili sensori, cavi e passanti adatti al vuoto.
Altissima risoluzione in Z e spot miniaturizzato per catturare i più piccoli dettagli e strutture
I sensori consentono una risoluzione in direzione Z inferiore a un nanometro. Inoltre, creano uo spot piccoli di soli 10 µm su tutto il campo di misura. Questa alta risoluzione permette il rilevamento di piccoli dettagli, come ad esempio strutture su semiconduttori e componenti elettronici miniaturizzati. Lo spot è visualizzato tramite un laser pilota e facilita l'allineamento del sensore.
Nuovi modelli di sensori con design diversi
Sono disponibili nuovi sensori con design e proprietà diversi, che permettono di integrare gli interferometri in ambienti difficili. L’IMP-DS0.5/90/VAC può essere installato anche in spazi piatti, grazie al percorso del fascio di 90°. Il nuovo sensore miniaturizzato IMP-DS1/VAC è uno dei più piccoli sensori ottici di Micro-Epsilon. Con un diametro di 4 mm e un cavo integrato, il sensore può essere utilizzato anche in spazi di installazione estremamente ristretti. I sensori e i cavi possono essere utilizzati sia in camera sterile, sia in condizioni di vuoto.
Laser pilota brevettato per un facile posizionamento dei sensori
Gli interferometri a luce bianca lavorano con la luce infrarossa nello spettro non visibile (lunghezza d’onda di circa 840 nm), per cui la posizione di misura non è riconoscibile. Per la visualizzazione della posizione di misura, i sistemi Micro-Epsilon sono dotati di un laser pilota che proietta un punto luminoso sulla posizione di misurazione. Il laser pilota, inoltre, utilizza un metodo brevettato per fornire, oltre alla posizione di misurazione, anche un feedback sulla distanza. Se il target si trova alla giusta distanza e, di conseguenza, nel campo di misura, il laser pilota emette una luce costante. Se il target si trova al di fuori del campo di misura, il laser pilota lampeggia.
Adattatore di montaggio regolabile per l’allineamento dei sensori
Per ottenere la massima precisione, gli interferometri devono essere allineati in modo che siano il più possibile perpendicolari rispetto al target. Con l’adattatore regolabile, i sensori possono essere allineati in maniera ottimale rispetto al target. L’allineamento può essere eseguito anche dopo il montaggio nella macchina. L’adattatore industriale consente lo spostamento in direzione X e Y e l’inclinazione del sensore rispetto al target.
Novità: adattatore di montaggio regolabile per la misurazione dello spessore su due lati
JMA-Thickness è costituito da due adattatori di montaggio regolabili e supporta l’allineamento dei sensori per la misurazione dello spessore su due lati. In questo modo è possibile disporre i punti di misura in modo assolutamente congruente su un asse ottico, ottenendo una misurazione dello spessore affidabile con la massima precisione possibile. JMA-Thickness è ideale per l’integrazione nelle macchine e negli impianti produttivi. Le piastre di montaggio preassemblate consentono un’installazione facile e veloce.
Facile da usare tramite interfaccia web
L’ intera configurazione del controller e dei sensori si effettua senza software supplementare, tramite una semplice interfaccia web. L’ interfaccia web si richiama tramite una connessione Ethernet e consente l’impostazione semplice e rapida di medie, velocità di misura e preset.
Interface and signal processing units
Moderne interfacce per l’integrazione in macchine e impianti
Il controller dispone di interfacce integrate come Ethernet, EtherCAT e RS422 e di attacchi per encoder, uscite analogiche, ingressi di sincronizzazione e I/O digitali supplementari. Utilizzando i moduli di interfaccia Micro-Epsilon sono disponibili PROFINET ed EthernetIP.Pertanto l’interferometro può essere integrato in tutti i sistemi di controllo e programmi di produzione.
Applicazioni
