Rilevamento della forma 3D dei wafer

I sistemi di deflettometria reflectCONTROL sono utilizzati per misurare la planarità dei wafer da 150 mm. Questi misurano la planarità con un solo scatto. A tal fine, i sensori proiettano un modello a striscia sul wafer, che viene registrato dalle telecamere integrate. Deviazioni geometriche sul wafer causano una distorsione del modello a striscia, che viene valutata dal software. Il sensore fornisce una rappresentazione 3D molto accurata della superficie riflettente, che può essere utilizzata per determinare la topologia con precisione micrometrica.