Rilevamento e misurazione dei segni di segatura

I sensori cromatici confocali della Micro-Epsilon sono utilizzati per il rilevamento e la misurazione automatica dei segni di segatura. La rapida compensazione della superficie nel controller regola i cicli di esposizione per garantire la massima stabilità del segnale per le superfici con diverse proprietà riflettenti. I sensori confocali della Micro-Epsilon assicurano un rilevamento affidabile dei segni di segatura e di altre cavità sul wafer grazie all'elevata inclinazione angolare e al piccolo punto luminoso.