Ispezione dimensionale dei lingotti di silicio

Gli scanner di profilo laser della Micro-Epsilon sono utilizzati per ispezionare la geometria dei lingotti di silicio. Questi rilevano la geometria completa delle barre di silicio. Ciò permette di determinare le deviazioni geometriche del blocco di silicio prima della separazione. I lingotti sono spesso dotati di tacche di orientamento, necessarie per l'allineamento dei lingotti. Gli scanner con tecnologia Blue-Laser della Micro-Epsilon sono utilizzati per ispezionare il profilo delle tacche per la precisione dimensionale. Questi registrano il profilo della tacca con alta precisione.