Controllo di crepe e rotture

I sensori cromatici confocali della Micro-Epsilon sono utilizzati per rilevare crepe e altri difetti sul wafer. Grazie alla veloce compensazione della superficie nel controller, le superfici con diverse proprietà di riflessione possono essere controllate in modo affidabile. Grazie a un punto di luce estremamente piccolo e all'alta risoluzione, è possibile riconoscere con certezza anche le più piccole irregolarità sul wafer.