Misurazione dell’angolo di ribaltamento dei wafer

La posizione esatta del wafer gioca un ruolo importante nella manipolazione dei wafer. Quando si alimentano i wafer, interferometri a luce bianca sono utilizzati per misurare l'angolo di ribaltamento orizzontale dei wafer. Due interferometri misurano il wafer. Gli interferometri a luce bianca della Micro-Epsilon forniscono valori assoluti di distanza con risoluzione sub-nanometrica. La misurazione assicura la massima precisione di posizione possibile durante il prelievo e la rimozione dei wafer.