Sensori confocali per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore

I sensori cromatici confocali confocalDT IFS2407 sono progettati per la misurazione ultra precisa di distanza, ruvidità e spessore. I sensori offrono un’apertura numerica elevata, spot dal diametro ridotto e angoli di inclinazione ampi, per cui possono essere utilizzati anche per la misurazione della ruvidità. Inoltre, questi sensori convincono per la precisione nanometrica.

confocalDT IFS2407-0,1

  • Campo di misura (mm): 0,1
  • Linearità: max. 0,05 µm
  • Risoluzione: max. 3 nm
  • Ideale per misurazioni di distanza e rugosità
  • Versione con intensità luminosa superiore disponibile per processi rapidi (NA 0,7)
  • Piccolo spot di misura di 3 µm
  • Sensibilità elevata e angolo di inclinazione ampio
  • Misurazione dello spessore di oggetti trasparenti a partire da 5 µm

confocalDT IFS2407-0,8

  • Campo di misura (mm): 0,8
  • Linearità: max. 0,2 µm
  • Risoluzione: max. 24 nm
  • Spot di piccole dimensioni
  • Sensore dal design salvaspazio
  • Misurazione precisa della distanza anche su superfici curve
  • Ideale per la misurazione dello spessore di strati sottili

confocalDT IFS2407-3

  • Campo di misura (mm): 3
  • Linearità: max. 0,75 µm
  • Risoluzione: max. 20 nm
  • Grande offset di circa 28 mm
  • Angolo di inclinazione max. ± 30°
  • Ideale per misurazioni su superfici curve e riflettenti

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • Campo di misura (mm): 0,3
  • Linearità: max. 0,75 µm
  • Risoluzione: max.10 nm
  • Ideale per misurazioni di spostamento e rugosità
  • Piccolo spot di misura di 6 µm
  • Sensibilità elevata e angolo di inclinazione ampio

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