Sensori confocali per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore
I sensori cromatici confocali confocalDT IFS2407 sono progettati per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore. I sensori offrono un’apertura numerica elevata, spot dal diametro ridotto e angoli di inclinazione ampi, per cui possono essere utilizzati anche per la misurazione della rugosità. Inoltre, questi sensori convincono per la precisione nanometrica.
confocalDT IFS2407-0,1
- Campo di misura (mm): 0,1
- Linearità: max. 0,05 µm
- Risoluzione: max. 3 nm
- Ideale per misurazioni di distanza e rugosità
- Versione con intensità luminosa superiore disponibile per processi rapidi (NA 0,7)
- Spot di misura ridotto da 3 µm
- Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
- Misurazione dello spessore di oggetti trasparenti a partire da 5 µm
confocalDT IFS2407-0,8
- Campo di misura (mm): 0,8
- Linearità: max. 0,2 µm
- Risoluzione: max. 24 nm
- Spot di piccole dimensioni
- Sensore dal design salvaspazio
- Misurazione precisa della distanza anche su superfici curve
- Ideale per la misurazione dello spessore di strati sottili
confocalDT IFS2407-3
- Campo di misura (mm): 3
- Linearità: max. 0,75 µm
- Risoluzione: max. 20 nm
- Grande offset di circa 28 mm
- Angolo di inclinazione max. ± 30°
- Ideale per misurazioni su superfici curve e riflettenti
confocalDT IFS2407/90-0,3
- Campo di misura (mm): 0,3
- Linearità: max. 0,75 µm
- Risoluzione: max.10 nm
- Ideale per misurazioni di spostamento e rugosità
- Spot di misura ridotto da 6 µm
- Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
