Sensori confocali per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore
I sensori cromatici confocali confocalDT IFS2407 sono progettati per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore. I sensori offrono un’apertura numerica elevata, spot dal diametro ridotto e angoli di inclinazione ampi, per cui possono essere utilizzati anche per la misurazione della rugosità. Inoltre, questi sensori convincono per la precisione nanometrica.
Sensori per applicazioni ad alta temperatura: confocalDT IFS2407-xHT
- Misurazione affidabile a temperatura ambiente fino a 200 °C
- Campi di misura (mm): 0,8 | 2 | 4
- Intervallo di temperatura: max. 200 °C
- Linearità: max. < ±0,16 µm
- Risoluzione: max. < 6 nm
- Corpo in acciaio inox 1.4404
- Idoneità al vuoto fino a UHV
- Varianti a 90°
Ulteriori informazioni sui sensori per applicazioni ad alta temperatura
confocalDT IFS2407-0,1
- Campo di misura (mm): 0,1
- Linearità: max. < ±0,04 µm
- Risoluzione: max. < 2 nm
- Ideale per misurazioni di distanza e rugosità
- Versione con intensità luminosa superiore disponibile per processi rapidi (NA 0,7)
- Spot di misura ridotto da 3 µm
- Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
- Misurazione dello spessore di oggetti trasparenti a partire da 5 µm
confocalDT IFS2407-0,8
- Campo di misura (mm): 0,8
- Linearità: max. < ±0,2 µm
- Risoluzione: max. < 12 nm
- Spot di piccole dimensioni
- Sensore dal design salvaspazio
- Misurazione precisa della distanza anche su superfici curve
- Ideale per la misurazione dello spessore di strati sottili
confocalDT IFS2407-1,5
- Campo di misura (mm): 1,5
- Linearità: max. < ±0,16 µm
- Risoluzione: max. < 3 nm
- Spot di misura molto piccolo di 5,5 µm
- Angolo di misura >± 43°
- Versione con intensità luminosa superiore (NA >0,7)
- Misurazione ad alta precisione su superfici curve e riflettenti
- Misurazione stabile su superfici strutturate
confocalDT IFS2407-3
- Campo di misura (mm): 3
- Linearità: max. < ±0,45 µm
- Risoluzione: max. < 7 nm
- Grande offset di circa 28 mm
- Angolo di inclinazione max. ± 30°
- Ideale per misurazioni su superfici curve e riflettenti
confocalDT IFS2407-6
- Campo di misura (mm): 6
- Linearità: max. < ±0,9 µm
- Risoluzione: max. < 8 nm
- Grande offset di circa 32 mm
- Ideale per misurazioni rapide e ad alta precisione su superfici complesse
- Elevata intensità luminosa anche con superfici scure / a bassa riflettività
confocalDT IFS2407/90-0,3
- Campo di misura (mm): 0,3
- Linearità: max. < ±0,1 µm
- Risoluzione: max. < 3 nm
- Ideale per misurazioni di spostamento e rugosità
- Spot di misura ridotto da 6 µm
- Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
- Percorso del fascio di 90°, ideale per il montaggio in spazi ristretti
