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Sensori ultra precisi IFS2407

Sensori confocali per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore

I sensori cromatici confocali confocalDT IFS2407 sono progettati per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore. I sensori offrono un’apertura numerica elevata, spot dal diametro ridotto e angoli di inclinazione ampi, per cui possono essere utilizzati anche per la misurazione della rugosità. Inoltre, questi sensori convincono per la precisione nanometrica.

confocalDT IFS2407-0,1

  • Campo di misura (mm): 0,1
  • Linearità: max. 0,05 µm
  • Risoluzione: max. 3 nm
  • Ideale per misurazioni di distanza e rugosità
  • Versione con intensità luminosa superiore disponibile per processi rapidi (NA 0,7)
  • Spot di misura ridotto da 3 µm
  • Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
  • Misurazione dello spessore di oggetti trasparenti a partire da 5 µm

 

 

confocalDT IFS2407-0,8

  • Campo di misura (mm): 0,8
  • Linearità: max. 0,2 µm
  • Risoluzione: max. 24 nm
  • Spot di piccole dimensioni
  • Sensore dal design salvaspazio
  • Misurazione precisa della distanza anche su superfici curve
  • Ideale per la misurazione dello spessore di strati sottili

confocalDT IFS2407-1,5

  • Campo di misura (mm): 1,5
  • Spot di misura molto piccolo di 5,5 µm
  • Angolo di misura >± 43°
  • Versione con intensità luminosa superiore (NA >0,7)
  • Misurazione ad alta precisione su superfici curve e riflettenti 
  • Misurazione stabile su superfici strutturate

confocalDT IFS2407-3

  • Campo di misura (mm): 3
  • Linearità: max. 0,5 µm
  • Risoluzione: max. 13 nm
  • Grande offset di circa 28 mm
  • Angolo di inclinazione max. ± 30°
  • Ideale per misurazioni su superfici curve e riflettenti

 

 

confocalDT IFS2407-6

  • Campo di misura (mm): 6
  • Linearità: max. 1 µm
  • Risoluzione: max. 15 nm
  • Grande offset di circa 32 mm
  • Ideale per misurazioni rapide e ad alta precisione su superfici complesse
  • Elevata intensità luminosa anche con superfici scure / a bassa riflettività

confocalDT IFS2407/90-0,3

  • Campo di misura (mm): 0,3
  • Linearità: max. 0,15 µm
  • Risoluzione: max. 6 nm
  • Ideale per misurazioni di spostamento e rugosità
  • Spot di misura ridotto da 6 µm
  • Sensibilità termica elevata e angolo di inclinazione ampio
  • Percorso del fascio di 90°, ideale per il montaggio in spazi ristretti
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