Interferometri a luce bianca per la misurazione assoluta della distanza con precisione nanometrica
Il nuovo interferometro a luce bianca IMS5400-DS apre nuove prospettive nella misurazione della distanza in ambito industriale. Il controller dispone di un'analisi intelligente e consente misurazioni assolute con precisione nanometrica con un offset proporzionalmente grande. Rispetto ad altri sistemi di misurazione ottica assoluta, IMS5400-DS offre una combinazione insuperabile di precisione, campo di misura e offset.
Caratteristiche particolari
- Misurazione della distanza assoluta con precisione nanometrica, adatta ad esempio per la misurazione di profili a gradini
- Misura della distanza multi-picco di oggetti trasparenti
- Sensori compatti e robusti con un grande offset
- Velocità di misura fino a 6 kHz per misurazioni rapide
- Robusto controller con raffreddamento passivo
- Facile configurazione tramite interfaccia web
- Sensori compatti anche con percorso del fascio a 90°
- Integrazione industriale flessibile per una rapida regolazione in loco
Misurazione assoluta della distanza con risoluzione nanometrica
IMS5400-DS è utilizzato per la misurazione ad alta precisione di spostamento e distanza. A differenza degli interferometri convenzionali, IMS5400-DS consente anche la misurazione stabile di profili di gradini. Grazie alla misurazione assoluta, la scansione dei gradini viene eseguita con elevata stabilità e precisione del segnale. Quando vengono misurati oggetti in movimento, è possibile rilevare le differenze di altezza dei talloni, dei gradini e delle depressioni.
Misurazione della distanza Multipeak
Nella misurazione della distanza Multipeak su oggetti trasparenti vengono analizzati fino a 14 valori di distanza. In questo modo è possibile rilevare, ad esempio, la distanza tra il vetro e una piastra di supporto. Inoltre, il controller può calcolare lo spessore del vetro a partire dai valori di distanza.
Ideale per gli ambienti industriali
Sensori robusti e un controller dal corpo metallico danno vita a un sistema predestinato all’integrazione nelle linee di produzione. Il controller può essere installato nell'armadio elettrico tramite le apposite guide DIN e, grazie alla compensazione attiva della temperatura e al raffreddamento passivo, fornisce risultati di misurazione molto stabili. I sensori sono compatti e possono essere integrati anche in spazi ristretti. I cavi di collegamento in fibra ottica, molto flessibili, sono disponibili con lunghezze fino a 10 m e consentono una separazione fisica di sensore e controller. L' avvio e l’impostazione si effettuano comodamente tramite interfaccia web e non richiedono l’installazione di software.
Spot miniaturizzato per catturare i più piccoli dettagli e strutture
I sensori generano uno spot di piccole dimensioni sull’intero campo di misura. Il diametro dello spot è di soli 10 µm e consente di rilevare i più piccoli dettagli come le strutture sui semiconduttori e i componenti elettronici miniaturizzati.
Numerosi modelli per misurazioni impegnative
Modello | Campo di misura / inizio intervallo di misurazione | Linearità | Numero di strati misurabili | Campi di applicazione |
---|---|---|---|---|
IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ± 50 nm | - |
Misurazione della distanza ad alta precisione in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio su wafer rivestiti. |
IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±50 nm | - | Misurazioni della distanza industriali, ad esempio nella produzione di precisione |
IMS5400-DS19/VAC | Compiti di posizionamento preciso e misurazioni della distanza in ambienti puliti e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di display per il posizionamento di maschere | |||
IMS5400MP-DS19 | Misurazione della distanza: 2,1 mm / ca. 19 mm Misurazione dello spessore: 0,01 … 1,3 mm (con BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±50 nm per la prima distanza ±150 nm per ogni ulteriore distanza |
Fino a 13 strati | Misurazione della distanza e dello spessore industriale, ad es. nella produzione di vetro piano |
IMS5400MP-DS19/VAC | Misurazione precisa della distanza e dello spessore in ambienti di camera sterile e sotto vuoto, ad esempio nella produzione di display per la misurazione della distanza e del gap |
Unità di interfaccia e di calcolo
Moderne interfacce per l’integrazione in macchine e impianti
Il controller dispone di interfacce integrate come Ethernet, EtherCAT e RS422 e di attacchi per encoder, uscite analogiche, ingressi di sincronizzazione e I/O digitali supplementari. Utilizzando i moduli di interfaccia Micro-Epsilon sono disponibili PROFINET ed EthernetIP.Pertanto l’interferometro può essere integrato in tutti i sistemi di controllo e programmi di produzione.





