Misurazione dello spessore ad alta precisione di pellicole elettricamente conduttive
Il sistema di misurazione capacitivo TFG6220 misura con la massima precisione lo spessore di pellicole elettricamente conduttive, come quelle delle batterie. Un dispositivo di aspirazione aspira il target, lo leviga e garantisce così un supporto ottimale e privo di pieghe. In questo modo è possibile effettuare la misurazione con la massima precisione possibile. Il sistema viene utilizzato per i controlli di qualità sotto forma di campioni casuali offline. Il TFG6220 è preassemblato e pronto all’uso ed è disponibile per un rapido impiego.
Caratteristiche particolari
- Rapida verifica offline dello spessore della pellicola
- Risoluzione: 10 nm
- Riproducibilità elevata: 1 µm
- Possibile spessore della pellicola: < 1 mm
- Risultati di alta precisione grazie alla lisciatura automatica della pellicola tramite il vuoto
- Un inserto di misurazione integrato consente un semplice riferimento prima della misurazione dello spessore
- Facile utilizzo/visualizzazione grazie al software sensorTOOL liberamente accessibile
Qualità affidabile grazie a verifiche precise
Il TFG6220 è costituito da una staffa di misurazione comprensiva di sensori e di un controller capaNCDT. Lo spessore viene calcolato per mezzo della compensazione dei due sensori capacitivi Una lisciatura automatica del target viene realizzata tramite un dispositivo per il vuoto collegato esternamente. Ciò consente di ottenere risultati di precisione micrometrica.
Il sensore capacitivo (1) installato in modo permanente nell’area superiore della staffa di misurazione misura la distanza dal target (2). L’inserto di misurazione (3) fornisce una superficie di riferimento sulla quale il target viene aspirato e bloccato mediante il vuoto. Il sensore capacitivo nell’area inferiore (4) effettua la misurazione sull’inserto e compensa lo spostamento meccanico della superficie di contatto.