Flessione dei wafer

I sensori cromatici confocali scansionano la superficie dei wafer per rilevarne la flessione e la distorsione. Con una velocità di misura di 70 kHz, i controller confocalDT permettono misurazioni altamente dinamiche. Questo consente di ispezionare i wafer in tempi brevi.

Luchsinger S.R.L.
info@luchsinger.it
+39 / 035 - 46 26 78
+39 / 035 - 46 27 90