Published articles about Micro-Epsilon
Für optisch transparente Schichten, wie dünne Gläser oder Folien, ist die Interferometrie gut geeignet, um berührungslos und nm-genau messen zu können. Parallel zur Schichtdicke kann auch der Schichtabstand gemessen werden.
Unternehmen aus den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik haben hohe Anforderungen an die Fertigungstoleranzen eines Wafers. Daher werden bei der Herstellung von Wafern präzise Sensoren eingesetzt, die in zahlreichen Prozessschritten Maschinenbewegungen überwachen, submikrometergenaue Positionierungen ermöglichen und geometrische Messungen am Wafer ausführen. Micro-Epsilon arbeitet seit vielen Jahren mit führenden Herstellern der Halbleiterindustrie zusammen und bietet ein leistungsstarkes Sensorportfolio, das nicht nur in Halbleiterlithographie-Maschinen, sondern über den gesamten Herstellungsprozess hinweg zum Einsatz kommt.
Optische Messverfahren wie Lasersensoren spielen eine wichtige Rolle in der Automatisierungstechnik. Für exakte Abstandsmessungen sind Laser-Triangulationssensoren das Mittel der Wahl. Diese messen und prüfen geometrische Größen in zahlreichen Industriebranchen. Zur direkten Einbindung in die Fertigungsumgebung präsentiert Micro-Epsilon nun Lasersensoren, die mit integrierter Ethercat- und Ethernet/IP-Schnittstelle ausgestattet sind. Damit werden Präzision und Integrierbarkeit in einem äußerst kompakten Sensor vereint.
Die Dickenmessung von Bahnwaren gewinnt in modernen Produktionsanlagen immer mehr Bedeutung. Zunehmende Qualitätsanforderungen, schnellere Fertigungsverfahren und engere Toleranzen erfordern daher messtechnische Lösungen für diese Inline-Dickenprüfungen. Die schlüsselfertigen Systeme ThicknessGauge von Micro-Epsilon übernehmen diese Messaufgaben. Sie arbeiten je nach Applikationsanforderung mit optischen sowie elektromagnetischen Sensoren beziehungsweise deren Kombination.
Kapazitiven Wegsensoren hängt noch immer der Ruf an, nur für saubere und trockene Umgebungen geeignet zu sein. Doch mit den industriefesten Ausführungen, die Micro-Epsilon mit der CapaNCDT-Serie anbietet, überzeugen die kapazitiven Sensoren auch in industriellen Anwendungen.
Koordinatenmessmaschinen werden zur hochgenauen Qualitäts- und Teileprüfung eingesetzt. Dafür werden zunehmend optische Abstandssensoren eingesetzt, die die herkömmlichen mechanischen Taster ablösen. Für die berührungslosen Sensoren sprechen zahlreiche Gründe: die Messung erfolgt rückwirkungsfrei, hochauflösend und schnell. Hierfür eignen sich besonders moderne optische Sensoren wie Laser-Triangulationssensoren, Laserscanner und konfokale Sensoren.
Die Herausforderung bei der Herstellung moderner Batterien besteht darin, ihre Energiedichte zu maximieren, ihre Herstellkosten zu senken und ihre Nutzungsdauer zu verlängern. Um dies zu erreichen, werden Sensoren von Micro-Epsilon im gesamten Fertigungsprozess eingesetzt. Dort übernehmen sie nicht nur verschiedene Messaufgaben zur Maschinenüberwachung und Qualitätssicherung, sondern auch die Dickenregelung von Bandmaterial sowie beschichteten Folien. Für diese Messaufgaben können sowohl elektromagnetische als auch optische Sensoren eingesetzt werden.
Die Laserscanner ScanControl von Micro-Epsilon sollen eine ausgezeichnete Signalstabilität und dadurch präzise Messergebnisse erzielen. Durch die hohe Profilrate mit bis zu 10 kHz eignen sich diese Sensoren für dynamische Messaufgaben, die eine hohe Profilauflösung mit bis zu 2.048 Punkten/Profil für die Erfassung kleiner Details erfordern. Je nach Anwendung stehen verschiedene Messbereiche zur Verfügung. Abhängig vom Messobjekt werden Scanner mit rotem Laserlicht oder mit der patentierten Blue-Laser-Technologie eingesetzt.
Die automatisierte Vermessung von Federn spart Zeit sowie Material. Ob die zu messende Feder gerade, bauchig oder stark gekrümmt ist, spielt keine Rolle. Erfasst werden können Seitenlastfedern, C-Federn, Zylinderfedern, Federn mit tief eingezogenen Enden, Miniblock-Federn und kundenspezifische Modelle. Die Oberflächenbeschaffenheit kann ebenfalls variieren, so lassen sich auch lackierte und pulverbeschichtete Federn vermessen.
Optische Messverfahren, wie Lasersensoren, spielen in der Automatisierungstechnik eine wichtige Rolle. Für exakte Abstandsmessungen sind Laser-Triangulationssensoren das Mittel der Wahl. Diese messen und prüfen geometrische Größen in zahlreichen Industriebranchen. Die Lasersensoren mit integrierter Ethercat-Schnittstelle von Micro-Epsilon vereinen Präzision mit Integrierbarkeit und erlauben die direkte Einbindung in die Fertigungsumgebung.
Optische Messverfahren, wie Lasersensoren, spielen in der Automatisierungstechnik eine wichtige Rolle. Für exakte Abstandsmessungen sind Laser-Triangulationssensoren das Mittel der Wahl. Diese messen und prüfen geometrische Größen in zahlreichen Industriebranchen. Die Lasersensoren mit integrierter Ethercat-Schnittstelle von Micro-Epsilon vereinen Präzision mit Integrierbarkeit und erlauben die direkte Einbindung in die Fertigungsumgebung.
