Sensori di spostamento ad alta precisione per applicazioni in serie OEM nella costruzione di semiconduttori
Le tecnologie di sensori della Micro-Epsilon si sono affermate nel settore dei semiconduttori da molti anni e offrono sempre la soluzione ottimale per svariate misurazioni: che si tratti di sensori ad alta precisione per complessi processi front-end, applicazioni back-end o automazione per la gestione di wafer.
Le nostre soluzioni di sensori convincono per la massima precisione, affidabilità e stabilità a lungo termine, anche in complesse condizioni di processo e nei diversi ambienti di produzione.
Perché Micro-Epsilon?
- Maggiore precisione fino al picometro – Made in Germany
- Consulenza, sviluppo e produzione da un unico fornitore
- Insieme ai nostri clienti: Qualità e competenza nelle soluzioni in serie e OEM
- Conoscenze tecnologiche e applicative approfondite nella produzione di semiconduttori
- Moderni metodi di produzione per sensori di spostamento ad alta precisione
Sensori ottimizzati per applicazioni in serie OEM
Per le applicazioni in serie modifichiamo i nostri sensori in base alle vostre indicazioni: ad esempio apportiamo modifiche al cavo, al materiale, al design dei sensori e al controller. Inoltre vengono utilizzati materiali di sensori specifici per l’applicazione.
Tipiche specifiche del sensore per applicazioni in serie:
- Compatibile con il vuoto: Materiali a ridotta emissione di gas e tecnologie di produzione conformi UHV
- Speciali tecnologie di collegamento
- Etichettatura e imballaggio conformi agli standard dei semiconduttori
- Ottimizzazione delle performance per la massima precisione di misurazione
- Massima immunità ai campi elettromagnetici
- Alti standard di garanzia di qualità in tutte le fasi del processo
Ready for Semicon: metodi di produzione ottimizzati
Tutti i sensori e i sistemi sono sottoposti a complesse procedure di produzione e test. Questo riguarda tra l’altro la scelta e il posizionamento dell’elettronica, la produzione meccanica e speciali tecnologie di processo.
Metodi di produzione ad alta specializzazione
- Tecnologia laser UKP
- Brasatura in vuoto ad alta temperatura
- Produzione di precisione meccanica
- Test di burn-in
- Impianti di colata completamente automatici
- Passivazione e rivestimento di componenti e gruppi di commutazione
- Processi di pulizia specializzati
Embedded Coil-Technology
Per i progetti OEM particolarmente complessi è consigliabile il design con Embedded Coil Technology o Embedded Capacitor Technology (ECT). Il design miniaturizzato dei sensori in materiale inorganico consente la massima libertà per la forma esterna. Grazie al substrato in ceramica i sensori si presentano con una robusta meccanica e una estrema stabilità. In caso di necessità, tutta l’elettronica di analisi può essere integrata nel sensore. Pertanto, i sensori ECT si adattano alle situazioni d’installazione più particolari. I sensori ECT sono adatti per le condizioni di utilizzo più dure e si sono affermati con successo in numerose applicazioni.
Maggiore precisione per l’industria dei semiconduttori
La Micro-Epsilon offre la soluzione giusta per numerose applicazioni nel settore dei semiconduttori: dal posizionamento ottico ad alta precisione passando per l’allineamento dello stage, fino all’ibridizzazione. I sensori vengono utilizzati sia in processi front-end che back-end e convincono per la massima precisione e affidabilità.
